LED-Wafer-Träger, 150 mm

Lieferant: Entegris
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ENTE125-175-47C02
LED-Wafer-Träger, 150 mm
Wafer-Handling Wafer-Carrier
Diese Prozesskassette besteht aus STAT-PRO® 3000 und ist robust genug, um Temperaturen bis 120 °C zu widerstehen. Dies spart Prozesszeit und reduziert die Anzahl der Produkte, die für Transporte im Labor bereitgestellt werden müssen. Die Kassette hat ein hohes, starres Design mit Formstabilität für maximalen Schutz. Sie verfügt außerdem über eine Vierpunktauflage auf dem H-Profil und der Schiene, für eine verbesserte Positionierung. Sie ist besonders geeignet für den Anlagenbetrieb auf Produktionswerkzeugen und automatisierten Materialhandling-Systemen.

  • Präziser Substrat-Zugang: Substrat befindet sich an einer genau definierten und vorhersehbaren Stelle
  • Flansche für die Automatisierung, Stifte und Öffnungen an der obersten Schiene
  • Design mit offener Seitenwand ermöglicht es Lösungen, gleichmäßig und schnell hindurchzufließen
  • Sicherer Schutz vor Kontamination und Beschädigung
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